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德国Xiton Photonics公司推出高功率193nm单频全固态激光器
来源: | 作者:陈亚辉 海科思锐 | 发布时间: 5天前 | 19 次浏览 | 分享到:
     IXION-193-SLM是由德国Xiton Photonics公司开发的一款单频全固态激光系统,适用于光学计量、193nm步进式光刻机光学元件校准或高功率准分子激光器的带宽控制等应用。其相干长度超过2米,特别适合干涉测量应用。该系统已在半导体行业的供应链中得到广泛应用。

     该系统的中心波长可在190至195nm范围内定制,并可在购买时预配置为固定波长。标准配置下,其波长与准分子激光器的典型波长193.368nm相匹配。
    用户可选配绝对光谱精度低于0.4pm的高精度波长计集成至系统中。这一配置不仅能确保最高水平的工艺控制,还可使激光器的光谱调谐操作更加便捷。
    IXION-193-SLM的标准版本输出功率是10mW。为了满足最终用户对更高功率的要求,Xiton Photonics公司近期推出高功率版本的193nm单频全固态激光器,输出功率从10mW增加到50mW。同时,Xiton Photonics公司还推出一款相干长度更长的版本,相干长度从标准版本的2米增加到2.5米。以下是三款193nm单频全固态激光器的技术参数表。
50mW 193nm单频全固态激光器光斑轮廓
     为了更好的服务国内客户,北京海科思锐光电仪器有限公司作为Xiton Photonics的正式授权代理商,在国内建立了激光器售后维修服务中心。我公司的技术工程师经过原厂的多次培训并得到原厂授权,可以对Xiton Photonics公司多款激光器进行售后维修服务,大大缩短了激光器的售后维修时间。
     北京海科思锐光电仪器有限公司专注于光电领域的国外产品代理,为客户提供专业的全套实验室解决方案以及引进国外先进的技术和光电领域的产品。产品包括各类激光器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、航空航天、激光加工等相关领域。欢迎来电咨询!
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