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北京海科思锐光电仪器有限公司
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适用于真空腔体内的负刚度隔振台及主要应用

在真空腔内放置隔振平台，主要是为了在进行高精度测量或加工时，消除外界和环境传来的微小振动干扰。任何对振动敏感的纳米级操作，在真空中几乎都离不开它。

以下是几个典型的应用场景：

半导体与微纳制造

这是对振动控制要求最高的领域之一，振动直接关系到芯片制造的良品率。

※ 光刻与检测：极紫外（EUV）光刻机的调焦调平、晶圆缺陷自动检测等环节，需要在真空环境下进行纳米级的对准和测量，必须隔绝外界振动。

※ 精密刻蚀与切割：在芯片电路加工时，平台需在纳米精度下稳定工作，以确保加工路径的完整性。

前沿科学研究

在基础物理和材料科学研究中，真空和低振动是获取可靠实验数据的前提。

※ 量子光学与腔量子电动力学：这类实验的腔体长度变化需被抑制到100 kHz以上，隔振平台能有效抑制压电陶瓷等致动器自身产生的高频振动。

※ 高分辨显微与干涉测量：在进行超快光学、非线性光学或搭建长程复杂光路时，任何微小抖动都会使图像模糊或测量结果失真。

航天与精密测试

为了在地面模拟太空的真实环境，大型设备需要在真空罐内进行测试，同时自身也要隔绝地面振动。

※ 航天器环境模拟：在热真空舱中对卫星或组件进行测试时，需用隔振系统将航天器与舱体本身的振动隔离开，以模拟太空中的微振动环境。

※ 大型部件模态测试：为了获取飞机、火箭等大型结构在自由状态下的真实动力学参数，需要在真空罐内用低频隔振系统将它们支撑起来。

传统的阻尼隔振台和气浮隔振平台等被动隔振系统由于存在多种限制因素很难用于真空腔体内，主动隔振平台是真空腔内最常用的隔振技术，尤其是在对低频隔振有严苛要求的场景。但是主动隔振平台价格昂贵，而且需要由外部通电，增加了系统的复杂性。由美国Minus K公司开发的负刚度隔振台可以很好的应用于真空腔体内部。Minus K 隔振系统可制成真空兼容型，从而能够直接安装于真空腔室内使用。除了其卓越的隔振性能外，该系统还具有承载重量更轻、结构更紧凑等优势，并可消除与真空腔室馈入装置相关的问题。

负刚度隔振平台是由美国Minus K公司独家研制的，拥有专利技术。其主要特点如下：

1.极低的固有频率：0.5 Hz的固有频率是其核心竞争力，提供了从极低频开始的卓越隔振性能。

2.卓越的低频隔振性能：在1-10Hz这个对精密仪器最有害的频段，其性能远超气浮和被动隔振方案。

3.无需气源和电源：纯机械结构，免维护，可在任何环境中（如无尘室、野外）即插即用。

4.高稳定性与可靠性：无活动部件磨损，无电子元件老化问题，寿命极长。

5.无噪声干扰：不会引入电子控制器的电噪声，对于STM、AFM等电信号敏感的测量至关重要。

Minus K的隔振系统还被用于支撑整个真空腔室。在某些情况下，这具有可采用更标准化设计以及降低成本的优势。