纳秒固体激光器是最常用的一类激光器,其中1064nm,532nm和355nm是最常见的三种波长,广泛应用于激光加工、激光测距、材料分析等领域。虽然这3个波长的纳秒固体激光器应用广泛,市场巨大,但参与者众多,竞争也异常激烈。德国Xiton Photoncis公司另辟蹊径,瞄准小众应用场景,开发出一系列特种波长的纳秒固体激光器和单频纳秒固体激光器,依托特种波长或者单频特性,满足特种应用场景需求,在多个小众领域打开局面,获得市场认可。今天我们就逐一介绍每种激光器的特色和应用。一、应用于隐形划片与集成电路修剪的1342nm纳秒固体激光器
硅材料对1342nm红外激光高度透明,激光可以穿过硅表面,在内部聚焦形成改质层,然后通过轻微外力使芯片沿此线分离。这种方式相比传统刀轮或表面烧蚀,切割质量更高、速度更快,并有效减少碎屑和热损伤。隐形划片与集成电路修剪是1342nm纳秒固体激光器最典型的应用。此外,这一特性使其同样适用于对硅材料的精密打孔、刻槽等微细加工场景。 Xiton Photonics公司针对这一应用场景开发出一系列1342nm纳秒固体激光器,目前已经与全球头部晶圆隐切加工设备厂家建立了密切的合作关系,为其长期提供多款1342nm纳秒固体激光器。

1.1 IDOL-C-1342:Xiton Photonics公司开发的第一款1342nm二极管泵浦的调Q纳秒固体激光器,最大输出功率为4.5W,可以满足7*24小时工业加工要求。具体参数如下:

1.2 IXDICE 1342:是IDOL-C-1342的升级版本,最大输出功率打到8W,具体参数如下:

1.3 IXDICE ULTRA1342:IXDICE 1342进一步放大版本,最大输出功率达到18W,具体参数如下:
二,447nm/671nm双波长输出纳秒固体激光器IDOL 671-447
IDOL 671-447是在IDOL-C-1342基础上通过增加SHG(二倍频)和THG(三倍频)模块实现671nm和447nm双波长输出,这款激光器专为液晶显示屏修复设计。目前在国内各大显示面板工厂保有量达到数百台。

IDOL 671-447主要技术参数:
三,213nm的纳秒固体激光器:Impress 213
IMPRESS 213 系统是一款高重复频率的固态二极管泵浦调Q激光器,发射波长为 213 nm。其高斯 TEM00 模激光束是光纤布拉格光栅(FBG)生产的成熟主力工具。其他应用还包括钻石、蓝宝石或类似材料的打标。由于激光辐射的波长非常短,在直接激光写入中可以实现低于 1 微米的特征尺寸。

与氩离子激光器相比,IMPRESS 213 真正实现了节能,并且可以通过封闭式冷却系统轻松进行温度控制。结合其节省空间的占地面积,运行成本被保持在最低水平。Impress 213 213nm固体激光器主要技术参数:
四,SLM系列单频纳秒脉冲固体激光器
当光谱带宽或相干长度成为关键因素时,SLM系列可能是理想之选。脉冲纳秒激光器的高峰值功率可实现高效频率转换,甚至能延伸至深紫外波段。结合单频发射特性,这为开辟前所未有的应用机遇奠定了新的基础。 SLM系列单频纳秒脉冲激光器可提供的波长:1064nm,532nm,355nm,266nm,213nm。几种波长SLM激光器的主要技术参数:
五,IXION193 SLM 193nm单频纳秒脉冲固体激光器
IXION-193-SLM 是一款单频全固态激光系统,适用于光学计量、193 nm 步进光刻机光学系统校准,以及高功率 ArF 准分子激光器的带宽控制等应用。其相干长度超过 2 米,非常适合干涉测量类应用。该系统已在半导体行业的供应链中得到广泛应用。系统的中心波长可在 190 至 195 nm 范围内定制,购买时可预先配置为固定波长。标准配置下,其波长为193.368 nm,与 ArF 准分子激光器常用的典型波长相匹配。作为选配方案,系统中可集成一台绝对光谱精度优于 0.4 pm 的高精度波长计。这不仅确保了最高的过程控制水平,也为激光的光谱调谐带来了更高的便捷性。自 2026 年起,该系统可提供三种可选配置:标准版、高功率版(50 mW)和长相干长度版。IXION193 SLM 193nm单频纳秒脉冲固体激光器主要规格参数:IXION193 SLM 193nm单频纳秒脉冲固体激光器主要应用:
Xiton Photonics GmbH公司简介:
Xiton Photonics GmbH 是一家经验丰富的研发与制造公司,致力于高品质激光源的制造已有超过20年历史。公司的核心技术优势在于非线性光学转换,这使得能够设计出高功率激光系统,产生从深紫外185nm到中红外5um乃至远红外更长波长范围内的几乎任意所需波长。我们的激光器凭借高可靠性、优异的光束质量、高平均输出功率以及高稳定性,赢得了客户的广泛认可。 得益于这些卓越性能,我们的激光源被全球领先的制造商所采用,全天候(7x24小时)运行于各地的生产线中。 北京海科思锐光电仪器有限公司作为Xiton Photonics的正式授权代理商,在国内建立了激光器售后维修服务中心。我公司的技术工程师经过原厂的多次培训并得到原厂授权,可以对Xiton Photonics公司多款激光器进行售后维修服务,大大缩短了激光器的售后维修时间。
北京海科思锐光电仪器有限公司专注于光电领域的国外产品代理,为客户提供专业的全套实验室解决方案以及引进国外先进的技术和光电领域的产品。产品包括各类激光器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、航空航天、激光加工等相关领域。欢迎来电咨询!