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北京海科思锐光电仪器有限公司
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Xiton Photonics 德国窄线宽深紫外全固态 DPSS 激光器

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Xiton Photonics(简称 Xiton)2005 年创立于德国凯泽斯劳滕,是全球窄线宽单纵模深紫外全固态激光器顶尖专业制造商,深耕二极管泵浦调 Q 固体激光、非线性高次谐波频率变换技术二十余年,在 193nm/213nm 深紫外窄线宽纳秒脉冲光源、可替代准分子固体激光方案领域稳居全球第一梯队。品牌依托自研种子注入单频锁模技术、高效率紫外非线性晶体变频工艺、高稳定谐振腔抗温漂结构,为高校光谱计量实验室、半导体光刻设备厂商、光纤光栅 FBG 制备企业、晶圆微纳加工机构、激光雷达研发单位提供标准化深紫外脉冲激光器、窄线宽种子光源及整机深度 OEM 内嵌定制方案。


核心产品包含 IXION 193 深紫外单频激光器、SLM 系列单纵模窄线宽激光器、EXCITE 紫外科研级光源、IMPRESS 213 深紫外刻写激光器、IDOL 工业加工激光器、IXDICE 1342 红外倍频光源;波长无缝覆盖 193nm、213nm、266nm、355nm 深紫外 / 紫外至 1342nm 中远红外波段。广泛应用于 FBG 光纤布拉格光栅直写、科研级深紫外光刻、光谱仪波长校准、半导体晶圆隐形划片、显示面板像素修复、激光干涉计量、拉曼光谱探测、准分子激光器种子注入源、激光雷达 LIDAR 等前沿科研与高端工业场景,解决传统气体准分子激光器耗材多、维护繁琐、体积庞大的行业痛点。


全场景光源灵活兼容

全系为纳秒脉冲体制,重频 1–50kHz 软件可调,支持上位机数字通讯触发控制。既可桌面独立用于光谱实验、光栅制备,也可嵌入半导体加工设备、光刻系统做内置光源,适配科研与工业化批量装备配套。


深紫外高效变频技术

通过多级非线性谐波转换稳定输出 193nm、213nm 硬核深紫外波长,全固态风冷一体化设计,无气体耗材、超长免维护运行。可直接替代昂贵准分子激光器,大幅降低实验室与产线长期使用成本。

采用种子注入单纵模架构,光谱线宽低至 30–80MHz,接近傅里叶变换极限,相干长度可达数米。光束质量 M²<1.2,脉冲能量波动极小,可满足高精密干涉测量、高精度光刻套刻、光栅高质量刻写对光源相干性的严苛要求。


超窄线宽单频输出

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