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北京海科思锐光电仪器有限公司
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WOP 飞秒微加工系统与特种光束光学元件

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WOP 全称 Workshop of Photonics,2003 年创立于立陶宛维尔纽斯,是全球顶尖飞秒激光微纳加工整机设备 + 特种光束整形光学元件双赛道专业厂商,深耕超快激光非线性刻蚀、空间可变相位光学、玻璃超快激光精密制程二十余年,在 TGV 玻璃通孔制程、飞秒无掩模微加工、高损伤阈值光束整形器件领域处于国际第一梯队。品牌依托自研飞秒激光内部直写相位光刻工艺、选择性激光诱导湿法刻蚀 SLE 算法、全闭环高精度运动控制架构,为高校超快光子学实验室、半导体先进封装企业、光流控芯片研发单位、光纤光栅制备厂商、3D 微纳打印机构提供标准化激光微加工工作站、特种相位光学元器件及整机深度 OEM 定制方案。


整机设备包含 FemtoLAB 科研通用飞秒微加工平台、FemtoGLASS 玻璃 / 蓝宝石激光切割系统、FemtoTGV 玻璃通孔 TGV 专用设备、FemtoFBG 光纤光栅写入系统、FemtoMPP 双光子聚合 3D 打印工作站;无源光学元件涵盖高斯转平顶光束整形器、衍射轴锥镜(贝塞尔光束发生器)、空间可变偏振涡旋波片、径向 / 角向偏振转换器。光谱覆盖紫外至近红外主流超快激光波段,广泛应用于玻璃晶圆 TGV 先进封装、蓝宝石精密切割、微流控芯片制备、飞秒激光直写光子器件、光纤布拉格光栅刻写、双光子 3D 微结构打印、超快非线性光学实验等高端科研与半导体工业场景,解决传统加工边缘崩边大、精度不足、光斑能量不均等行业痛点。


特种光束精准调控

内部激光直写相位型光学元件,高激光损伤阈值,可实现高斯光转平顶 / 贝塞尔 / 涡旋偏振光,衍射效率最高 95%。适配超快激光微钻、深孔加工、多光子聚合,大幅提升激光加工均匀度与良率。


全脉冲光源全域兼容

完美适配飞秒、皮秒超快脉冲激光器,配套上位机软件可一键完成扫描路径、脉冲时序联动控制。既可单机独立搭建科研实验平台,也可嵌入产线做自动化批量加工,适配多学科科研与工业化量产需求。

基于飞秒激光冷加工机理,可实现亚微米级加工分辨率,玻璃通孔圆度超 95%,切割崩边量<10μm。支持任意图形无掩模直写,兼容超薄玻璃、蓝宝石、碳化硅等硬脆材料,是半导体先进封装核心制程装备。


超高精度微纳加工

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