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CryLaS 深紫外 DPSS 激光器
CryLaS GmbH 深耕二极管泵浦固体激光器研发制造二十余年,通过 ISO9001 质量体系认证,是全球深紫外 DUV 微片脉冲激光与 266nm 连续紫外激光器标杆厂商,可为高校科研院所、半导体企业、分析仪器厂商提供标准化光源与深度 OEM 定制解决方案。
CryLaS 激光产品覆盖 213nm 深紫外、266nm/355nm 紫外、532nm 绿光、1064nm 红外 完整波段,分为纳秒被动调 Q 脉冲微片激光器、266nm 高功率连续紫外激光器、MOPA 功率放大激光系统三大产品线,广泛应用于半导体晶圆检测、LIBS 光谱分析、MALDI 质谱电离、生物荧光激发、精密微加工、激光雷达测距、光刻科研、非线性光学实验、仪器设备内嵌光源等场景,为紫外精密光学系统提供高可靠性核心激光光源。
密封免维护,寿命持久
全系列激光头采用全密封铝合金腔体封装,内部光学元器件出厂锁定无需后期调试,杜绝粉尘、温湿度变化对光路的干扰。266nm 四倍频晶体搭载电动移点专利结构,大幅延长晶体使用寿命,整机可满足产线 7×24 小时不间断作业,日常运维工作量极低,耐用性经过全球半导体工厂长期验证。
脉冲机型全部采用 Nd:YAG/Cr:YAG 键合微片晶体谐振腔原生结构,依靠被动调 Q 实现纳秒级窄脉冲输出,在极小机身尺寸下保障可观单脉冲能量。整机无复杂水冷结构,结构极简故障率低,长期不间断运行能量漂移微弱,非常适合狭小空间光路搭建与仪器内置搭载。
超小体积高能脉冲输出
FQCW 系列 266nm 连续激光器为品牌标志性产品,实现<300kHz 超窄线宽、超 1000 米超长相干长度,纯 TEM00 基模输出,光束质量 M²<1.3,强度噪声极低,8 小时功率波动控制在极小范围,是紫外干涉测量、高精度晶圆检测不可替代的光源方案,填补了高功率单频深紫外量产设备的市场缺口。
266nm 单频连续深紫外