NewPort旗下的New Focus系列可调谐激光器拥有世界上最先进的可调谐二极管激光系统，为了保证在整个输出光谱内处于单个模式和模式跳模自由，具有非常精细的调谐分辨率、高稳定性、低噪声和窄线宽。本激光诱导荧光诊断系统围绕TLBVelocity™系列专用定制窄线宽可调谐激光器设计组建，宽调谐激光器具有超宽粗调谐范围，其种子光具有超过50 mW的自由空间输出功率，最高可提供10 nm/s的调谐速度，无跳模的调谐范围高达60GHz。

Ø  可测量等离子体参数特性：离子/原子速度分布函数、速度、温度、亚稳态相对密度；

Ø  可测量物质种类：Xe I，Xe II等（可根据应用需求定制）

Ø  具有IV类激光级精确波长无跳模调谐功能；

Ø  具有对激光波长进行实时精密测量功能；

Ø  具有对速度零点的激光波长精确标定功能；

Ø  具有激光诱导荧光光谱一键测试记录功能；

Ø  具有等离子体参数特性标定以及一键分析功能。

应用领域

Ø  在空间电推进：霍尔推力器、离子推力器、MPD、VASIMR等

Ø  超精密等离子体加工：霍尔效应离子源，考夫曼型离子源等

Ø  半导体晶圆刻蚀：CCP刻蚀机、ICP刻蚀机等

Ø  核聚变物理：EAST等托卡马克核聚变装置

技术参数：

LIF系统实物装置及典型测试应用结果