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FQCW系列连续266nm固体激光器

FQCW系列连续266nm固体激光器


CryLas的FQCW266 系列二极管泵浦固态紫外激光器(DPSS UV),单模工作条件下可提供最高 1.2 W 的真正连续波 (CW)266 nm 输出功率。相较于其他 266 nm 连续波激光器,FQCW266 系统具备优异的功率稳定性<0.3 %rms;光束性能出色,光束质量因子 M²<1.3;相干长度大于 1000 m,对应光谱线宽< 300 kHz。中心波长为 266.0 ± 0.2 nm,可按需提供更高精度的波长容差版本。

可通过激光器控制软件,在标称输出功率的 10 %~110 % 范围内对输出功率进行调节。设备配套控制单元,支持按键本地控制,也可通过串行接口(RS232 与 USB)实现远程控制。

得益于所选用的高品质紫外光学元件与非线性晶体,FQCW266 激光器维护工作量小,检修周期长。激光器采用气密性外壳封装,可避免污染,能够在多种环境条件下实现无人值守运行。激光器通过激光头底板传导冷却,无需冷水机或散热风扇。


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CryLas的FQCW266 系列二极管泵浦固态紫外激光器(DPSS UV),单模工作条件下可提供最高 1.2 W 的真正连续波 (CW)266 nm 输出功率。相较于其他 266 nm 连续波激光器,FQCW266 系统具备优异的功率稳定性<0.3 %rms;光束性能出色,光束质量因子 M²<1.3;相干长度大于 1000 m,对应光谱线宽< 300 kHz。中心波长为 266.0 ± 0.2 nm,可按需提供更高精度的波长容差版本。

可通过激光器控制软件,在标称输出功率的 10 %~110 % 范围内对输出功率进行调节。设备配套控制单元,支持按键本地控制,也可通过串行接口(RS232 与 USB)实现远程控制。

得益于所选用的高品质紫外光学元件与非线性晶体,FQCW266 激光器维护工作量小,检修周期长。激光器采用气密性外壳封装,可避免污染,能够在多种环境条件下实现无人值守运行。激光器通过激光头底板传导冷却,无需冷水机或散热风扇。



FQCW266 系列激光器的适用场景高度取决于输出功率。10 mW 与 25 mW 型号普遍用于基础研究以及光路准直作业;50 mW~200 mW 的中功率机型主要应用于要求更高的计量与光谱检测场景,例如紫外光学元件吸收与波形畸变测试、紫外拉曼光谱、光致发光测试。而 300 mW~1.2 W 工业级大功率激光器,则专为半导体晶圆检测等 7×24 小时不间断工作场景设计并得到广泛应用。

标称输出功率 50 mW 及以上的激光器中,用于产生紫外辐射的关键非线性晶体搭载在自动晶体移位器(ACS)上。当晶体长时间工作后转换性能发生衰减时,该移位器可将非线性晶体移动至全新的可用点位。300 mW~1.2 W 机型单个点位典型使用寿命为 2000 工作小时,晶体移位器可调用非线性晶体上至少 12 个可用点位。自动晶体移位器(ACS)可有效延长紫外激光器使用寿命,降低维护需求。

FQCW 系列激光器为全密封结构,无需氮气或者洁净干燥空气(CDA)吹扫。仅 300 mW~1.2 W 机型的输出窗口与外部光闸组件,需要配置简易的洁净干燥空气或氮气吹扫气源,防止紫外光学元件受到外部污染。

 

 

产品特点:


· 即插即用,操作便捷

· 结构紧凑坚固,气密封装外壳

· 真正连续激光输出,光束品质优异

· 闭环控制,可对输出功率进行调控与校准

· 低噪声

· 单频工作模式

· 长相干长度

 

主要应用:


· 拉曼光谱

· 干涉测量

· 光致发光

· 荧光分析

· 光刻

· 晶圆检测

 

产品列表:


Model

波长(nm)

功率

线宽

功率稳定性

M2

产品资料

FQCW266-10

266±0.2

> 10 mW

< 300 kHz

≤0.3%rms

≤1.3

PDF

FQCW266-25

266±0.2

> 25 mW

< 300 kHz

≤0.3%rms

≤1.3

PDF

FQCW266-50

266±0.2

> 50 mW

< 300 kHz

≤0.3%rms

≤1.3

PDF

FQCW266-100

266±0.2

> 100 mW

< 300 kHz

≤0.3%rms

≤1.3

PDF

FQCW266-200

266±0.2

> 200 mW

< 300 kHz

≤0.3%rms

≤1.3

PDF

FQCW266-300

266±0.05

> 300 mW

< 300 kHz

≤0.2%rms

≤1.3

PDF

FQCW266-600

266±0.05

> 600 mW

< 300 kHz

≤0.2%rms

≤1.3

PDF

FQCW266-1200

266±0.05

> 1200 mW

< 300 kHz

≤0.2%rms

≤1.3

PDF

 

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