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板条激光器因采用板条形状的激光晶体作为增益介质而得名。板条激光器曾和碟片激光器、光纤激光器一起被认为是最有前途的高功率激光器技术路线之一。从目前的结果来看,在连续高功率激光器的PK中,光纤激光器已经占据了明显上峰。德国Edgewave公司由杜克明博士于2001年创建,多年来一直专注于高功率板条激光器的研发。近年来Edgewave公司另辟蹊径,把重点放在了短脉冲高功率激光技术上,不断推出更高功率的短脉冲板条激光器,在精密激光加工领域展现出独特的技术优势,在多个细分领域得到广泛应用。具体包括光伏行业中太阳能电池的精细加工,玻璃和陶瓷等硬脆材料的精细加工,半导体材料的精细加工等。本文将具体介绍Edgewave公司最新的短脉冲板条激光器的技术特点以及相关应用。
Edgewave公司的板条激光器主要分为三类:纳秒激光器、皮秒激光器、飞秒激光器。
纳秒板条激光器
Edgewave公司的纳秒板条激光器采用电光调Q技术,主要特点如下:
光束质量好: M² < 2
最大单脉冲能量:60mJ
最小脉冲宽度:1ns
最大峰值功率:7MW
最大重频:100 kHz
最大平均功率:600W
可提供波长:1064, 532, 355, 266nm
Edgewave的纳秒板条激光器还有一个特点是可以根据客户应用提供各种定制化光斑,包括:高斯光斑,线光斑,一维平顶光斑,方形平顶光斑等。根据输出功率大小,Edgewave公司的纳秒板条激光器分成BX,IS,GX三个系列,其中IS系列主要技术参数如下:
主要应用:
激光剥离
激光加热
激光划片、打孔
泵浦燃料激光器、OPO、OPA
太阳能电池的加工
PIV、LIF光谱
皮秒板条激光器
Edgewave公司的皮秒板条激光器可以实现高功率、高能量、高重频的皮秒激光输出,主要技术特点如下:
光束质量好: M² < 1.5
最大单脉冲能量:2mJ
最小脉冲宽度:10ps
最大峰值功率:100MW
最大重频:50MHz
最大平均功率:400W
可提供波长:1064, 532, 355, 266nm
主要技术参数如下:
Edgewave公司可以提供最高达600W的皮秒激光器,同时实现了高重频、高能量,在高速精密加工领域有着巨大的应用潜力,包括显示屏的打孔、切割、磨边;薄膜器件的剥离;精密3D雕刻;激光选择性刻蚀.
飞秒板条激光器
Edgewave公司的飞秒板条激光器最高可以实现600W3mJ的飞秒激光输出,主要特点如下:
光束质量好: M² < 1.5
最大单脉冲能量:3mJ
最小脉冲宽度:600fs
最大峰值功率:160MW
最大重频:50MHz
最大平均功率:600W
可提供波长:1030, 515, 343nm
飞秒板条激光器主要技术参数如下:
Edgewave的短脉冲板条激光器在国内已经安装数百台,应用领域包括太阳能电池的加工、半导体器件的加工,显示屏的加工,以及科学研究等。北京海科思锐光电仪器有限公司作为Edgewave的经销商,在国内销售其所有激光器,同时为用户提供全方位的售后服务。
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