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北京海科思锐光电仪器有限公司
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Xiton Photonics公司特种波长纳秒固体激光器助力先进制造
来源:原创 | 作者:陈亚辉 博士 海科思锐 | 发布时间: 27天前 | 227 次浏览 | 分享到:

   在超快激光器已经成为激光加工新宠的今天,如果你还在用纳秒激光器做加工,出门都不好意思和别人打招呼。然而实际上到目前为止,纳秒激光和连续激光仍然是激光加工的主力军。超快激光,包括皮秒激光和飞秒激光,主要在微纳加工领域有着一定优势,在很多对加工精度要求不是太高的领域并非首选光源。德国Xiton Photonics公司长期专注于特种波长的纳秒固体激光器研制,以产品的可靠性和实用性作为主攻方向,与先进制造领域的终端用户密切合作,开发出一系列的纳秒固体激光,在多个先进制造的细分领域成为首选激光光源。

IXION 193 SLM193nm单频全固态激光器

   Xiton Photonics公司研制的激光器IXION 193是一款193nm单频全固态激光器,主要用于光学计量、深紫外激光干涉仪、光刻机掩模版的校准测试、光谱仪校准、准分子激光器种子源等。IXION 193的光谱宽度小于100MHz,接近傅里叶变换极限。

   IXION 193的中心波长可以根据用户要求在185nm194nm之间定制,此外,该激光器可以提供高精度光谱仪集成选项,其绝对精度达到0.001nm。集成光谱仪后,可以实现对激光波长调谐的精确控制。

IXION 193 SLM实物照片

IXION 193 SLM主要技术参数:

IXION 193 SLM主要应用:

 193nm光学计量

深紫外激光干涉仪

光刻机掩模版的校准测试

光谱仪校准

准分子激光器种子源

IXION-193-SLM波长稳定性:

 Impress 213213nm纳秒固体激光器

    MPRESS 213系统是发射波长为213nm的高重复率二极管泵浦调Q激光器。高斯TEM00模式激光束成为其生产加工光纤布拉格光栅(FBG)的重要优势。其他应用包括钻石、蓝宝石或类似材料的标记,光波导加工。由于激光辐射的波长非常短,在直接激光写入中可以实现小于1µm的特征尺寸。

Impress 213 激光器的主要参数如下:

 IXCDICE Ultra 13421342nm纳秒激光器 用于硅基晶圆的隐形切割

IXDICE Ultra 1342是一款高重复率全固态二极管泵浦Q开关激光器,具有1342 nm的独特波长。这是IXDICE 1342激光器的升级版本。它的平均输出功率达到18W,是市场上最高功率的1342nm激光器。

   该激光器针对30200kHz范围内的高脉冲重复率进行了优化,以在材料加工应用中实现更高的加工速度。由于IXCDICE Ultra 1342具有高脉冲对脉冲稳定性和密封外壳,因此非常适合24/7连续工业应用。IXDICE Ultra 1342的波长为1342 nm,是硅基晶圆加工(如隐形切割或集成电路修整)激光光源的完美选择。

IXCDICE Ultra 1342主要参数性能:

IDOL 671 / 447447nm671nm双波长纳秒固体激光器

   这款激光器同时输出671nm447nm波长的激光。其主要应用是高端平板显示的修复。在高端平板显示的激光修复应用中,一般需要红、绿、蓝三波长激光器,其中532nm绿光激光器技术难度低,蓝光和红光激光器技术难度高。Xiton Photonics选择这一局部市场进行切入,与多家平板显示修复设备厂家合作,成功占据了这一市场。目前Idol447激光器已经安装超过300台,主要分别在三星、京东方等面板大厂。


SLM系列:单频纳秒激光器

   SLM系列激光器是Xiton Photonics研制的单频纳秒固体激光器,波长包括:1064nm532nm355nm266nm224nm213nm。同时具备高峰值功率和窄线宽的特点。面向的应用包括激光雷达,外延片检测,深紫外拉曼光谱,干涉等。主要技术参数如下:

 

SLM 213 激光器用于平面波导直接制备光路图:

 

    Xiton Photonics公司作为一家典型的“小而美”的德国公司,瞄准高端激光加工应用领域,专注特种激光器的研制,通过多年持续的研发投入,多款激光产品成为特定应用领域的首选光源。213nm固态激光器Impress 213成为FBG,尤其是高功率FBG刻蚀的首选激光光源;447nm/671nm双波长固态激光器IDOL447作为高端显示器修复激光光源在国内大厂装机量数百台;1342nm激光器助力硅基外延片隐形切割应用;193nm单频激光器应用于光刻机相关环节检测应用,装机量已达数十台……..

   为了更好的服务国内客户,北京海科思锐光电仪器有限公司作为Xiton Photonics的正式授权代理商,在国内建立了激光器售后维修服务中心。我公司的技术工程师经过原厂的多次培训并得到原厂授权,可以对Xiton Photonics公司多款激光器进行售后维修服务,大大缩短了激光器的售后维修时间。

   北京海科思锐光电仪器有限公司专注于光电领域的国外产品代理,为客户提供专业的全套实验室解决方案以及引进国外先进的技术和光电领域的产品。产品包括各类激光器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、航空航天、激光加工等相关领域。欢迎来电咨询!

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