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近日,北京海科思锐光电仪器有限公司向国内客户成功交付一套193nm单频全固态激光器,该激光器由德国Xiton Photonics GmbH公司研制生产,由北京海科思锐光电仪器有限公司的技术工程师独立完成安装、调试,所有测试数据满足合同指标要求,该激光器优异的性能得到用户方高度认可。
德国Xiton Photonics公司研制的激光器IXION 193是一款193nm单频全固态激光器,主要用于光学计量、光刻机掩模版的校准测试、光谱仪校准、准分子激光器种子源等。IXION 193的光谱宽度小于100MHz,接近傅里叶变换极限。
IXION 193的中心波长可以根据用户要求在185nm至194nm之间定制,此外,该激光器可以提供高精度光谱仪集成选项,其绝对精度达到0.001nm。集成光谱仪后,可以实现对激光波长调谐的精确控制。
IXION 193主要技术参数:
此次北京海科思锐光电仪器有限公司向国内客户交付的IXION 193激光器实物照片:
该激光器部分主要指标测试结果:
目前这款193nm单频全固态激光器在全球已经成功安装接近30台,其高性能和高可靠性得到了客户的广泛认可。此次XION 193激光器在国内的成功交付安装,也得到了德国Xiton Photonics公司对北京海科思锐光电仪器有限公司技术支持能力的肯定。
德国Xiton Photonics GmbH公司介绍:Xiton Photonics公司是一家私人公司,成立于2004年,专注于二极管泵浦的全固态激光器研制。目前已经有多款热销产品成为细分行业的王牌产品,包括用于FBG刻蚀加工的213nm激光器;用于液晶面板修复的447nm/671nm双波长输出激光器;用于硅基外延片隐形切割的1342nm激光器;用于激光雷达的单频532nm激光器等;以及应用于光刻机掩模版检测的单频193nm激光器等。
北京海科思锐光电仪器有限公司作为Xiton Photonics公司在中国的正式授权代理商,不仅负责其全新产品在中国市场的销售,而且负责其产品在国内的售后维修等工作。目前北京海科思锐公司在国内建立了激光器维修实验室,得到Xiton Photonics公司的授权,可以维修其绝大部激光器,实现了对国内客户快速售后服务。
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