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北京海科思锐光电仪器有限公司
京海科思锐光电仪器有限公司
FemtoFAB---工业用激光工作站

FemtoFAB---工业用激光工作站

WOP公司的FemtoFAB 是专为特定工业过程设计的交钥匙激光工作站——高度可靠,在高速、超高精度、无熔体微加工方面具有显著优势。根据特定的激光微加工应用选择和仔细调整配置。该系统受到 1 类等效激光安全外壳的保护,并通过高级 SCA 工程师软件窗口进行控制。


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WOP公司的FemtoFAB 是专为特定工业过程设计的交钥匙激光工作站——高度可靠,在高速、超高精度、无熔体微加工方面具有显著优势。根据特定的激光微加工应用选择和仔细调整配置。该系统受到 1 类等效激光安全外壳的保护,并通过高级 SCA 工程师软件窗口进行控制。


 

主要特点

  •  高制造速度 - 高达 300 mm/s(可根据要求提供更多)

  •  制造具有亚微米分辨率的复杂物体

  •  高性能振镜扫描仪

  •  脉冲密度控制

  •  亚微米精度的精确物体定位

  •  物体运动和激光脉冲在时间和空间上的同步。

  •  独特的软件接口控制所有硬件单元

 

配置

  •  激光源

  •  样品定位系统

  •  光束传输和扫描单元

  •  激光功率和偏振控制

  •  系统控制软件(根据要求提供自动对焦和机器视觉)

  •  样品架和特殊机械装置(根据要求提供样品处理自动化)

  •  光学平台

  •  外壳(全部或部分)

  •  除尘单元

  •  激光系统通过微加工软件 SCA 实现自动化。

  •  该软件是激光系统的重要组成部分,不单独出售。

 

参数

数值

脉冲持续时间

200 fs – 10 ps

重复频率

1 kHz – 1 MHz

平均功率

高达 20W

脉冲能量

高达 2 mJ

波长

1030 nm、515 nm、343 nm、258 nm、206   nm

定位精度

± 250 nm

行程范围

从 25×25 mm到   300×300 mm(根据要求更大)

 

应用

激光微钻孔

激光微切割和划片

激光微打标

表面结构

 

   

                                 玻璃垫片                                                             钢化玻璃切割

   

      蓝宝石批量打标                                                     钛涂层选择性烧蚀

 

 


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