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北京海科思锐光电仪器有限公司
京海科思锐光电仪器有限公司
FemtoLAB ——飞秒激光微加工工作站

FemtoLAB ——飞秒激光微加工工作站

WOP公司的FemtoLAB是需要针对各种任务定制解决方案的科学实验室和研发中心的优先选择。它是光学平台上的完整激光实验室——配备高端工业级飞秒激光器、高精度线性定位平台、高性能振镜扫描仪和多功能微加工软件SCA。WOP长期的专业知识可以优化FemtoLAB工作站，以节省实验时间并促进新用户的培训。FemtoLAB的灵活性能够在客户提出新要求时扩展和升级系统。

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WOP公司的FemtoLAB是需要针对各种任务定制解决方案的科学实验室和研发中心的优先选择。它是光学平台上的完整激光实验室——配备高端工业级飞秒激光器、高精度线性定位平台、高性能振镜扫描仪和多功能微加工软件SCA。WOP长期的专业知识可以优化FemtoLAB工作站，以节省实验时间并促进新用户的培训。FemtoLAB的灵活性能够在客户提出新要求时扩展和升级系统。

 


特点

应用

• 亚微米分辨率

• 超高精度

• 高速

• 高效的光束传输和功率控制

• 高端工业级飞秒激光器

• 最高质量的光学元件

• 高精度定位平台

• 高性能振镜扫描仪

• 时空上的物体运动和激光脉冲同步

• 独特的软件界面控制所有硬件单元

• 微切削

• 微划线

• 微钻孔

• 微标记

• 激光表面结构化

• 选择性激光烧蚀

• 3D 增材制造 (MPP)

• 微焊接

 

 

技术参数：

Parameter

Value

脉冲持续时间

40 fs – 10 ps

重复率

1 Hz – 2 MHz (Single-Shot,   Pulse-on-Demand, Burst Mode)

平均功率

Up to 80 W

脉冲能量

Up to 2 mJ

波长

1030 nm, 515 nm, 343 nm, 257 nm

定位精度

± 250 nm

行程范围

From 25×25 mm to 500×500 mm (larger on   request)

 

 

软件控制功能：


·  XYZ位移台

·  旋转轴

·  扫描振镜

·  激光参数

·  机器视觉

·  工作区域平均功率（反馈）

·  偏振


  

 

加工便利性：


·  使用显微镜转台切换波长

·  使用显微镜转台改变光学部件聚焦

·  使用共焦自动聚焦系统确定焦点

·  CCD相机视场自动校正

·  CCD自动聚焦到样品表面

·  自动判断样品倾斜

·  加工过程拍照和录像

·  加工轨迹和CCD视场重合

·  实时加工追踪

·  键盘式操纵杆


  

 

全部配置包括：


·  飞秒激光器PHAROS

·  SHG，THG，FHG和光束传输系统

·  SHG用于振荡器输出

·  XYZ位移台系统

·  扫描振镜系统

·  4个衰减器用于WAIT PILOT

·  4个偏振旋转器

·  自动聚焦和机器视觉单元

·  SLM或其他光束整形器

·  转台用于调整谐波镜和聚焦光学部件

·  系统可以组装在已有的光学平台上，区域1m×2.5m。

 

 

应用案例：

     

   微钻 | 玻璃                                                      多光子聚合MPP

 

   

    微焊 | 玻璃到金属                                            0.1mm厚的蓝宝石侧面图

 

   

     玻璃基板的铬烧蚀                                                    光纤钻孔

 

 


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