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北京海科思锐光电仪器有限公司
京海科思锐光电仪器有限公司
直接驱动电动位移台

直接驱动电动位移台

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8MTL系列电动平移台采用三相无铁无刷伺服电机技术,可通过高精度,可重复性和低摩擦力实现零间隙运动。线性非接触式光学编码器可确保以亚纳米级的运动分辨率直接控制位置。氧化铝合金保证了高温稳定性,8MTL仪器的柔软性和优异的长周期运动学,无导向系统漂移。该平台占地面积小,可将其集成到高密度机器和狭小空间应用中,且可用于超净室和真空(高达10-3 Torr)应用。

8MTL1301-170


型号

8MTL1301-170-LEn1-025

8MTL1301-170-LEn1-050

8MTL1301-170-LEn1-100

8MTL1301-170-LEn1-200

行程

170 mm

编码器类型

Optical Encoder

编码器分辨率

25 nm

50 nm

100 nm

200 nm

编码器光栅周期

20 µm

绝对精度:

 

校准前

±5 µm

校准后

±1 µm

双向重复精度(峰峰值)

±0.15 µm

双向重复精度(RMS)

±0.10 µm

最大速率(载重4kg)

<2000 mm/s

载重(置于中心)

30kg

重量

4.1kg




8MTL1401-300

型号

8MTL1401-300-LEn1-025

8MTL1401-300-LEn1-050

8MTL1401-300-LEn1-100

8MTL1401-300-LEn1-200

行程

300 mm

编码器类型

Optical Encoder

编码器分辨率

25 nm

50 nm

100 nm

200 nm

编码器光栅周期

20 µm

绝对精度:

 

校准前

±5 µm

校准后

±1 µm

双向重复精度(峰峰值)

±0.15 µm

双向重复精度(RMS)

±0.08 µm

最大速率(载重4kg)

<2000 mm/s

载重(置于中心)

30kg

重量

6.75kg



8MTL165-300

型号

8MTL165-300-LEn1-025

8MTL165-300-LEn1-050

8MTL165-300-LEn1-100

8MTL165-300-LEn1-200

行程

300 mm

编码器类型

Optical Encoder

编码器分辨率

25 nm

50 nm

100 nm

200 nm

编码器光栅周期

20 µm

绝对精度

校准前

±10 µm

校准后

±1 µm

双向重复精度(峰峰值)

±0.5 µm

双向重复精度(RMS)

±0.24 µm

最大速率(载重4kg)

<2000 mm/s

载重(置于中心)

50kg

重量

13.5kg




8MTL220

型号

8MTL220-400-LEn1

8MTL220-600-LEn1

行程

400 mm

600 mm

编码器类型

Optical Encoder

编码器分辨率

Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand)

编码器光栅周期

20 µm

绝对精度

校准前

±10 µm

±12 µm

校准后

±1 µm

±1 µm

双向重复精度(峰峰值)

±0.5 µm

双向重复精度(RMS)

±0.26 µm

最大速率(载重4kg)

<2000 mm/s

载重(置于中心)

100kg

重量

37kg

46kg




8MTL120XY



型号

8MTL120XY-LEn1-025

8MTL120XY-LEn1-050

8MTL120XY-LEn1-100

8MTL120XY-LEn1-200

行程

120 x 120 mm

编码器类型

Optical Encoder

编码器分辨率

25 nm

50 nm

100 nm

200 nm

编码器光栅周期

20 µm

绝对精度

校准前

±4 µm

校准后

±0.5 µm

双向重复精度(峰峰值)

±0.15 µm

双向重复精度(RMS)

±0.10 µm

最大速率(载重4kg)

<1000 mm/s

载重(置于中心)

30kg

尺寸

240 x 360 x 75 mm

重量

12.5kg




8MTLF250XY

型号

8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1

8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1

8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1

8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1

行程

250 x 250 mm

编码器类型

Optical Encoder

编码器分辨率

Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand)

编码器光栅周期

20 µm

绝对精度

校准前

±5 µm

±6 µm

校准后

±1.5 µm

±2 µm

双向重复精度(峰峰值)

±0.25 µm

±0.5 µm

双向重复精度(RMS)

±0.15 µm

±0.3 µm

发动机数量

4

3

2

最大速率(载重4kg)

<1500 mm/s

载重(置于中心)

30kg

尺寸

746 x 746 x 106 mm

重量

~ 68 kg



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