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WOP公司飞秒激光微纳加工应用案例及系统配置

来源:原创 | 作者:陈亚辉博士海科思锐 | 发布时间: 898天前 | 996 次浏览 | 分享到:

飞秒激光微纳加工作为一种真正的“冷加工”神通广大，在微纳加工领域几乎无所不能，具有加工精度高、可加工材料范围广、加工方式灵活、可加工异性结构器件等特点。但是到目前为止飞秒激光微纳加工的真正应用普及度并不高，究其原因，主要包括两点：1、成本高；2、实现真正的加工要求是一个系统工程，涵盖三方面：硬件配置、软件和加工工艺，需要三方面合理配合，才能完成加工任务。

立陶宛WORKSHOP OF PHOTONICS（WOP）公司成立于2003年，18年来专注于飞秒激光微纳加工系统集成和飞秒微纳加工工艺研发，拥有超过50名专业技术人员和欧洲最大的飞秒激光微纳加工实验室，为全球用户提供各种飞秒微纳加工系统和飞秒微纳加工服务，以及全方位的飞秒激光微纳加工解决方案。

WOP公司的飞秒激光微纳加工系统可以加工的材料涵盖了玻璃、陶瓷、硅、光纤、金属、塑料、聚合物等各种材料，加工方式包括了激光微纳标记、激光打孔、激光切割、激光焊接、激光3D打印、材料表面改性等等，可以加工各种复杂结构的器件。

WOP公司的飞秒微纳加工系统

WOP公司在飞秒激光微纳加工系统集成和飞秒微纳加工工艺开发方面积累了丰富的经验。一套飞秒激光微纳加工系统一般包括：飞秒激光器、样品定位系统、光束传输和扫描装置、激光功率和偏振控制、系统控制软件（控制所有硬件单元、根据要求自动对焦和机器视觉）、样品架、光学台、外壳（全部或部分）、除尘装置等。WOP公司可以根据客户的应用要求实现最佳的硬件配置组合，同时由一套软件控制所有硬件。针对飞秒微纳加工系统需求，WOP公司可以提供三类产品方案：面向实验室和研发中心的飞秒微加工工作站FemtoLAB、针对用户已经拥有激光器的实验室和研发中心的飞秒微加工系统FemtoLAB KIT、针对特定应用进行优化的飞秒微加工系统。

面向实验室和研发中心的飞秒微加工工作站FemtoLAB

FemtoLAB集成了激光器、光路传输和功率控制模块，扫描振镜、精密位移台，大理石平台，软件等模块，配置灵活，功能强大。FemtoLAB是一个飞秒激光微加工工作站，是科学实验室和研发中心的完美选择，适用于定制各种任务的解决方案。

♦主要特点：

具有亚微米分辨率的复杂样品的制备。

高速超高精度微加工。

高效的光束传输和功率控制。

高端工业级飞秒激光器。

高性能激光扫描振镜。

样品运动和激光脉冲在时间和空间上的同步。

♦主要技术参数：

脉冲宽度	40 fs – 10 ps
重复pinl	1 kHz – 2 MHz (Single-Shot, Pulse-on-Demand, Burst Mode)
平均功率	Up to 80W
脉冲能量	Up to 2 mJ
波长	1030 nm, 515 nm, 343 nm, 257 nm
定位精度	± 250 nm
行程	From 25×25 mm to 500×500 mm (larger on request)