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北京海科思锐光电仪器有限公司
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德国Xiton Photonics公司的193nm单频全固态激光器被成功应用于光刻机子系统检测
来源:原创 | 作者:陈亚辉 博士 海科思锐 | 发布时间: 878天前 | 849 次浏览 | 分享到:

光刻机作为大规模集成电路芯片的核心生产设备,被誉为现在工业之母。由于结构复杂,技术壁垒高,目前只有少数几个公司掌握着光刻机的生产技术。光刻机由多个模块组成,每个模块的性能都会制约和影响整个光刻机的性能。近期,德国Xiton Photonics公司基于非线性频率变换技术研制出一套193nm的单频全固态激光器,并被成功应用于光刻机投影系统的检测,已经向荷兰、日本和美国多家世界知名光刻机设备厂家销售多台。

 

IXION 193 SLM

IXION 193 SLM是一款单频全固态激光器,主要应用于193nm光学计量,193nm步进光学校准,准分子激光器种子源等。IXION 193 SLM的光谱带宽接近于傅里叶变换极限。

 


 IXION 193 SLM的中心波长可以根据用户需要在185nm至194nm范围内定制,在下订单时确定中心波长。此外,作为一个选项,IXION 193 SLM可以集成一步高精度光谱仪,分辨率达到0.001nm,从而可以实现光谱范围的精确调谐。


IXION 193 SLM主要技术参数

波长

193.368nm

平均功率

10mW

脉冲宽度

8-12ns

单脉冲能量

1.6uJ

重复频率

1-15kHz

光束质量

M2<1.6

光谱宽度

<80MHz

波长调谐范围

>10pm

相干长度

>2m

脉冲稳定性

σ < 2.5 %

 

IXION 193 SLM主要应用

光谱仪校准

光刻机

干涉仪

193nm计量

准分子激光器种子源

 

IXION 193 SLM主要性能

 

 

德国Xiton Photonics公司除了上述193nm单频全固态激光器之外,还研制出了213nm,266nm,355nm,532nm,1064nm等波长的单频全固态激光器,广泛应用于激光雷达,干涉测量等领域。另外,XitonPhotnics公司还有两款热销产品,一款是213nm的全固态激光器,主要应用于FBG(光纤布拉格光栅),尤其是大功率光纤激光器用的FBG刻蚀。这款激光器在国内的安装量已经超过80台。另外一款热效激光器是447nm和671n双波长输出的全固态激光器,主要应用于高端显示器的激光修复领域,目前在国内的保有量已经超过150台。其中使用最长的激光器服役已经超过10年。鉴于越来越多的激光器已经超期服役,售后维修工作越来越多,北京海科思锐光电仪器有限公司作为Xiton Photonics在中国的正式授权代理商,为了更好的服务国内用户,在国内建立了售后维修中心,针对Xiton Photonics公司的多款激光器实现了国内维修。

北京海科思锐光电仪器有限公司专注于光电领域的国外产品代理,为客户提供专业的全套实验室解决方案以及引进国外先进的技术和光电领域的产品。产品包括各类激光器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、航空航天、激光加工等相关领域。欢迎来电咨询!

 

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